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在集成電路的制備過程中，為獲得符合清潔度要求的硅片，會產(chǎn)生大量的清洗廢水。清洗廢水中的主要污染物為高濃度懸浮顆粒物、酸性清洗劑、堿性清洗劑、有機(jī)清洗劑及重金屬離子等。
萊特萊德在常規(guī)水解酸化+接觸氧化的工藝路線上，延伸出廢水零排放工藝。系統(tǒng)中采用MBR膜作為預(yù)處理的保安關(guān)卡，保證了預(yù)處理出水的良好水質(zhì)穩(wěn)定性。膜濃縮系統(tǒng)配合催化氧化技術(shù)和ACF吸附模塊，將被濃縮、富集的COD去除至可接受范圍內(nèi)。同時(shí)將無機(jī)鹽和有機(jī)物從純水中分離，最后進(jìn)入MVR蒸發(fā)器進(jìn)行濃縮。該系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了水資源的高效回收回用，解決工業(yè)廢水大量排放造成的資源浪費(fèi)問題。